解键合设备
TRITON系列
TRITON系列是独立的全自动解键合处理设备，也可作为功能模块集成于CANOPUS 系列键合设备，其既可用于晶圆混合键合后退火前的解键合处理，也可用于熔融键合后退火前的解键合处理。
技术特征
机械式解键合
Laser-debond可选
高精度刀片控制
低碎片率
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