对准量测设备
GANYMEDE系列
GANYMEDE系列是独立的全自动、高精度对准量测设备，也可作为功能模块集成于CANOPUS / SIRIUS 系列键合设备，用于检测晶圆键合后标记之间的对准精度，并作为反馈优化键合工艺参数。
技术特征
兼容透射/反射测量
兼容W2W和D2W测量
晶圆全覆盖测量
智能识别算法
超分辨成像算法
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